2-氧代四氦呋喃-3-羰基丙烯酸酯 光刻胶单体介绍

2-氧代四氦呋喃-3-羰基丙烯酸酯，英文名称为2-Oxotetrahydrofuran-3-yl acrylate，简称THFAA，在光刻技术中作为单体使用，能够形成高分子聚合物，用于制造半导体、LCD、MEMS等微电子器件。其分子式为C8H10O4，分子量为170.16。该单体为无色液体，具有极大的紫外光敏感性，在紫外光的作用下可以发生聚合反应，形成聚合物，从而实现对微细图案的制备，是光刻胶中的重要组成部分。

THFAA具有较高的抗化学腐蚀性能，对常用的显影液和金属腐蚀较小，使其能够被广泛应用于微电子制造和集成电路领域。此外，它还具有惰性好、挥发性小、粘度低、固化速度快等优点，使得其在光刻胶的制备中占据重要地位。

综上所述，2-氧代四氦呋喃-3-羰基丙烯酸酯作为一种新型光刻胶单体，在微电子制造中具有重要的应用价值。

中文名2-Oxotetrahydrofuran-3-yl acrylate
英文名2-Oxotetrahydrofuran-3-yl acrylate
别名2-氧代四氢呋喃-3-基 丙烯酸酯
2-羰基-四氢呋喃-3-羟基-丙烯酸酯
英文别名2-Oxotetrahydrofuran-3-yl acrylate
2-Oxotetrahydrofuran-3-yl acrylate
2-Oxotetrahydro-3-furanyl acrylate
2-Propenoic acid, tetrahydro-2-oxo-3-furanyl ester
CAS
化学式C7H8O4
分子量156.14密度1.21±0.1 g/cm3(Predicted)沸点285.9±33.0 °C(Predicted)